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氯硅烷|Chlorosilane
氯硅烷是與硅烷有關(guān)的一組反應性含氯化合物，用于許多化學過程中。每種這樣的化學品具有至少一個硅-氯鍵。三氯硅烷的生產(chǎn)規(guī)模最大。母體氯硅烷是四氯化硅。
氯硅烷
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